国产的SP光刻机到底牛在哪儿?
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国产的SP光刻机到底牛在哪儿?

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最近,我国自主研发的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备通过验收,利用365nm光源单次曝光可以实现22nm线条。那么这套装备到底牛在哪儿呢?